On-line在線薄膜厚度檢測方案
簡 介
優(yōu)尼康科技有限公司(UNICORN TECHNOLOGY CO., LTD.)成立于2012年11月,注冊于中國香港, 是翌穎科技(上海)有限公司的子公司。
翌穎科技(上海)有限公司主要為半導(dǎo)體、新能源企業(yè)和高校及研發(fā)中心提供各類精密進(jìn)口制程及測量設(shè)備。提供的一對一*,技術(shù)支持,備件管理和咨詢服務(wù)。
Filmetrics方案推廣商,具備方案定制,改造升級(jí),本土化維護(hù),與備件庫的方案提供商,是Filmetrics 中國區(qū)售后服務(wù)中心
什么是Parylene ?
聚對二甲(Poly-para- xylylene;簡稱( parylene)是一種高分子聚合物,在中國又稱為"派瑞林”。
Parylene是六十年代中期美國 Union Carbide Co.開發(fā)應(yīng)用的一種新型敷形涂 層材料根據(jù)分子結(jié)構(gòu)的不同, Parylene可分為N型、C型、D型、HT型等多種類型。
常用派瑞林材料基本特性
(1):派瑞林C粉防水, 防腐性比N粉強(qiáng)30%,耐電壓低于N粉, C粉適用于PCBA.
(2): 派瑞林N粉耐電壓高防水, 防腐性能低于C粉, 適用于微型電機(jī)矽鋼片等.
(3): 派瑞林HT-2粉, 防水, 防腐, 耐電壓都比C-N粉各項(xiàng)性能提高了15%左右, 是在C-N粉基礎(chǔ)上提升起來的,己經(jīng)代替了C-N粉生產(chǎn)用途.
(4): 派瑞林(F-VT4)-(F-AF4) 粉, 防紫外線強(qiáng)應(yīng)用于戶外產(chǎn)品, 材料成本偏高客戶暫時(shí)很難接受單價(jià).
什么是Parylene C?
Parylene C 是系列中第二個(gè)具有商業(yè)價(jià)值的成員。它由相同的單體制成,只是將其中一個(gè)芳香烴氫原子用一個(gè)氯原子所取代了。
綜合了優(yōu)良的介電性能和物理機(jī)械性能,對潮濕和腐蝕性氣體有低的滲透性。
可以提供真正的無針孔覆形隔離。滿足美軍標(biāo)MIL-46058C,是涂敷重要電路板的材料。符合ISO-10993生物試驗(yàn)要求。符合UDP第六類塑料的生物試驗(yàn)要求.
Parylene 特性
Parylene沈積可以經(jīng)由活潑的單體( monomer)氣體,聚合于物體表面上,而不同于一般常見經(jīng)由液體涂層的方法制備。
其活性分子在被涂裝的對象表面生成*披覆的聚合物薄膜,可涂裝到任何形狀的表面面,且不產(chǎn)生死角,包括括尖銳的棱角、隙縫內(nèi)部與極細(xì)微的針孔中,
膜厚可一致性的被覆在產(chǎn)品的任何部位,薄膜厚度由1um-50um,是極薄的涂裝之一。
Parylene 行業(yè)應(yīng)用
Parylene制程工藝介紹
Parylene采用化學(xué)氣相沉積工藝(CVD)。
配積過程分為三步驟:
1.真空條件下, 以120℃將固態(tài)粉末狀的對二甲苯的二聚物 (di-para-xylylene; dimer) 加熱汽化;
2.以650℃ 將氣態(tài)的對二甲苯的二聚物 ,裂解為對二甲苯 (para-xylylene) 的 活性單體(monomer);
3.氣態(tài)活性單體在室溫下沉積并聚合成聚對二甲苯 (Poly-para-xylylene )的薄膜。
Parylene 制程設(shè)備生產(chǎn)管控三要素
Parylene 產(chǎn)品不良的3種特征
Parylene
日本高分子材料公司吉世科(KISCO)于1月7日宣布收購美國特種涂層公司Specialty Coating Systems(SCS)。
兩家同為行業(yè),吉世科在聚對二甲苯市場已深耕18年,在材料科學(xué)與研發(fā)上擁有很深的背景,而SCS與聚對二甲苯的誕生頗有淵源,
是聚對二甲苯市場的銷售商。
生產(chǎn)過程中容易出現(xiàn)的問題及監(jiān)管
問題:
1 .鍍膜過程材料分解純度不夠 (缸體內(nèi)壓力控制 ,到時(shí)厚度均勻性差
2. 材料在缸體停留時(shí)間過長 ,導(dǎo)致產(chǎn)品發(fā)白
3. 產(chǎn)品缸內(nèi)擺涉及原材料氣相流動(dòng),也會(huì)對產(chǎn)品的厚度均勻性產(chǎn)生影響
4. 生產(chǎn)過程中堵缸,產(chǎn)品膜厚不增長
5. 擋風(fēng)板結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)很重要,不合理會(huì)殘留材料會(huì)導(dǎo)致送料管堵塞
溫度,壓力管控 、厚度在線監(jiān)控
產(chǎn)品發(fā)白,發(fā)藍(lán),產(chǎn)品附著力差、膜厚不均勻.
Filmetrics –在線測量的優(yōu)勢
快、準(zhǔn)、省
無損,非接觸式測量、預(yù)警
1.生產(chǎn)產(chǎn)品過程監(jiān)控—實(shí)時(shí)反饋生產(chǎn)數(shù)據(jù),提高產(chǎn)品品質(zhì)
2.提高生產(chǎn)效率— 設(shè)定生產(chǎn)指標(biāo) ,報(bào)警提示
3.節(jié)省材料成本— 縮小產(chǎn)品指標(biāo)公差,材料節(jié)省可見
4.減少人工成本— 監(jiān)控室直接在線數(shù)據(jù)監(jiān)管
5.堵缸、停缸監(jiān)控— 節(jié)省材料,與人工挽救不良率
6.給產(chǎn)品設(shè)定的厚度范圍
7.方便不同產(chǎn)品工藝的調(diào)整
8.經(jīng)過客戶實(shí)際生產(chǎn)測算,7個(gè)缸體工作,一年節(jié)省15%~50% 材料與人工支出,良品率 的提升由56% 提升到 86~95%.
Filmetrics –生產(chǎn)過程在線監(jiān)控與測量的生產(chǎn)線布置示意圖
Unicorn–產(chǎn)品全檢在線測量方案
F32 --測量原理
Filmetrics –在線測量產(chǎn)品介紹
快、準(zhǔn)、省
離線式手動(dòng)檢測