主動消磁的結(jié)構(gòu)組成以及相關(guān)特點(diǎn)
2020-10-26
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現(xiàn)今的高性能電子束儀器對變化的環(huán)境磁場非常敏感。當(dāng)周遭的磁場改變時會使電子顯微鏡的電子束產(chǎn)生偏折并造成影像解析度或測量精度下降。主動消磁系統(tǒng)系統(tǒng)可降低環(huán)境交流磁場并恢復(fù)分辨率和精度。
主動消磁系統(tǒng)主要是由磁場控制器、一或兩個感測探頭及三軸向多芯的線圈組成,并安裝在電鏡房間內(nèi)以產(chǎn)生反向磁場并改善外部磁場問題。
系統(tǒng)針對外部磁場變化為自動響應(yīng),響應(yīng)時間小于100微秒。AC線路場(50/60 Hz)減 少50 x。
主動消磁系統(tǒng)無法消除電梯、火車和交通等直流電場 變化干擾源。若需要同時消除交流磁場與直 流磁場的話可以參考另一款SC24主動式消磁器
主動消磁系統(tǒng)特點(diǎn):
1、當(dāng)今高精電子束設(shè)備對環(huán)境磁場及其動態(tài)變化是非常敏感的。環(huán)境磁場使電子束產(chǎn)生偏移,從而導(dǎo)致設(shè)備分辨率和測量精度的減低。
2、主動消磁系統(tǒng)由磁場控制單元、一兩個交流或直流磁場傳感器以及裝在待消磁房間里的三根多芯電纜(三維空間線圈)組成,是一種三維的交直流磁場補(bǔ)償系統(tǒng)。
3、傳感器測量空間環(huán)境中交直流磁場及其變化量,磁場控制單元以實(shí)時負(fù)反饋環(huán)路控制方式調(diào)節(jié)三個線圈中的電流來創(chuàng)建一個與環(huán)境磁場變化相反的磁場信號,抵消環(huán)境磁場給電子束設(shè)備帶來的影響,恢復(fù)設(shè)備應(yīng)有的分辨率和精度。
4、這是一個動態(tài)系統(tǒng),對磁場躍變自動響應(yīng)的速度在100微秒以內(nèi)。
5、市電(50/60 Hz)頻率的交流背景磁場可被消除至75分之一;直流背景磁場可被消除至200分之一。
主動消磁系統(tǒng)的線圈由一個完整回路和一段連接控制器的線路組成。完整回路創(chuàng)建一個區(qū)域的消除磁場,而另一段連接控制器的線路(此段沒有消除磁場的功能)則連接到磁場控制器。完整回路以1個紅色,綠色和藍(lán)色代表X、Y、Z軸。SC22線圈的X軸和Y軸完整回路長16米,Z軸回路則為20米長。若客戶端有個別需求,可以定制更長的線圈來解決。