Webinar課程:快速傅里葉變換:測厚膜時(shí)您的得力助手
2020-08-12
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課程
KLA Instruments | Webinar課程:快速傅里葉變換:測厚膜時(shí)您的得力助手
※適合新老客戶了解學(xué)習(xí)膜厚儀的使用;加深對(duì)產(chǎn)品的理解。
超過8微米的厚膜會(huì)產(chǎn)生很多光干涉條紋。分析這樣復(fù)雜光譜的一個(gè)簡潔方法就是用快速傅里葉變換。FILMeasure 軟件包括一系列高智能方法來簡化光譜分析。這包括FFT窗口功能,波長范圍自動(dòng)優(yōu)化,以及光學(xué)厚度濾波。
我們會(huì)講到光斑尺寸的影響以及設(shè)備的選配。還會(huì)講到多層薄膜的應(yīng)用。
下期預(yù)告:
時(shí)間:2020年9月17日 上午10點(diǎn)
敬請(qǐng)期待?。▽脮r(shí)注意查看推送文章)